ナノメートル単位での作業

通常よりも細かい技術を指す

半導体製造装置や光学部品には、特に高い精度が要ります。
細かな面精度や、正確な位置決めが必要だからです。
だから、普通の切削や研磨だけでは足りません。
そこで現場では、最先端の加工技術が使われます。
たとえば、真空中での薄膜形成やエッチングです。
半導体プロセス由来の加工も、その一つです。
さらに、高エネルギーを使う加工も登場しています。
レーザーや電子ビームを用いる方法です。
これにより、以前よりずっと精密な加工ができます。
ほかにも、マイクロマシニングやフォトリソグラフィがあります。
これらを支えるのは、機械加工だけではありません。
真空力学や電磁気学の技術も、背景にあります。
複数の分野が結びつき、極限の加工を可能にしているのです。

計測をすることも大事

精密機械製造と聞くと、作ることばかりを思い浮かべがちです。
しかし、精密計測も同じくらい重要です。
これは、どれだけズレが生じているかを知るための技術です。
測ったズレは、その場で機械に反映されます。
そうして、加工をリアルタイムに制御します。
計測には、さまざまな道具が使われます。
光学式変位センサや干渉計が、その代表です。
画像処理による形状検査や、自動外観検査も行います。
サーボモータとエンコーダで、位置決めと制御もします。
これらを使いこなすには、幅広い知識が必要です。
機械や電気電子、情報制御理論の技術です。
これらを一つに束ねてこそ、設計図どおりの加工が実現します。
測る技術が、作る技術を確かなものにするのです。